西安暢達(dá)氣體公司-中船重工718所：特種氣體強(qiáng)化制勝之道

西安暢達(dá)氣體公司-中船重工718所：特種氣體強(qiáng)化制勝之道

五月繁華似錦，萬(wàn)物欣欣向榮。5月18日，中船重工718所新材料一期項(xiàng)目正式投產(chǎn)，二期項(xiàng)目開(kāi)工建設(shè)。筆者從該集團(tuán)公司了解到，這標(biāo)志著718所三氟化氮等特種氣體產(chǎn)品產(chǎn)能將取得新的突破。

高純電子特種氣體被形容為半導(dǎo)體工業(yè)的“血液”和“糧食”，是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽(yáng)能、光纖等先進(jìn)制造業(yè)的重要原材料，屬于國(guó)家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年，相關(guān)產(chǎn)品被國(guó)外壟斷，市場(chǎng)定價(jià)權(quán)掌握在國(guó)外廠商手中。

為搶抓市場(chǎng)機(jī)遇，718所于2000年組建特種氣體工程部，自籌經(jīng)費(fèi)立項(xiàng)開(kāi)展研究，于2009年成功開(kāi)發(fā)出高純?nèi)Ｔ摦a(chǎn)品被列入國(guó)家“重點(diǎn)新產(chǎn)品”及“火炬計(jì)劃”，應(yīng)用于國(guó)內(nèi)大部分的半導(dǎo)體、液晶、太陽(yáng)能行業(yè)，并出口美國(guó)、日本、法國(guó)、德國(guó)等國(guó)家。

面對(duì)喜人成績(jī)，718所沒(méi)有停止腳步，而是積極跟蹤國(guó)際氟化工前沿技術(shù)，先后立項(xiàng)開(kāi)展20多種高純特種氣體研發(fā)，自主開(kāi)發(fā)出六氟化鎢、氘氣、三氟甲磺酸等新產(chǎn)品，涉及核心關(guān)鍵技術(shù)數(shù)十項(xiàng)，獲得發(fā)明專(zhuān)利授權(quán)18項(xiàng)，產(chǎn)品均處于國(guó)際先進(jìn)水平。

718所所長(zhǎng)李俊華介紹，目前該所已建成國(guó)內(nèi)的三氟化氮、六氟化鎢及三氟甲磺酸系列產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)基地。其中三氟化氮國(guó)內(nèi)市場(chǎng)覆蓋率超過(guò)95%，國(guó)際市場(chǎng)覆蓋率達(dá)30%；六氟化鎢國(guó)內(nèi)市場(chǎng)覆蓋率達(dá)，國(guó)際市場(chǎng)覆蓋率達(dá)40%。作為國(guó)家“02專(zhuān)項(xiàng)”氣體組項(xiàng)目的牽頭單位，該所已經(jīng)成功研制出四氟化硅等9種高純氣體及10種混合氣體，并成功進(jìn)行了產(chǎn)業(yè)化，產(chǎn)品得到了中芯國(guó)際等半導(dǎo)體龍頭企業(yè)的測(cè)試認(rèn)證。

近兩年，718所特種氣體產(chǎn)業(yè)迅速壯大，年均增速達(dá)到30%。該所力爭(zhēng)到2020年，實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)高純?nèi)獨(dú)怏w12000噸、高純六氟化鎢氣體2000噸、其他特種氣體3000噸，成為世界知名的電子特種氣體材料綜合服務(wù)商。

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