西安氣體公司 | 電子氣體的詳細介紹
2025-11-01 來自: 西安暢達氣體有限公司 瀏覽次數:42
電子氣體是半導體、顯示面板、光伏等電子制造業的核心基礎材料,按用途可分為電子特種氣體和電子大宗氣體兩類。
核心分類與關鍵特性
電子大宗氣體:用量大、純度要求中等(通常 99.99%-99.9999%),以惰性氣體和基礎氣體為主。
常見類型:氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、氦氣等。
核心作用:作為載氣、保護氣或反應介質,支撐生產過程的基礎環境。
電子特種氣體:用量小、純度要求極高(多為 99.9999% 以上,即 6N 級及更高),化學性質多樣。
常見類型:硅烷、氨氣、氯化氫、氟化氫等。
核心作用:參與薄膜沉積、蝕刻、摻雜等關鍵工藝,直接影響產品性能。
核心應用場景
半導體制造:從晶圓制造到封裝測試,用于光刻、氣相沉積、離子注入等核心步驟。
顯示面板:LCD、OLED 面板生產中,用于薄膜制備、像素定義、封裝保護。
光伏產業:太陽能電池片制造時,作為摻雜氣體或保護氣體提升轉換效率。
其他領域:LED 芯片、半導體器件、光纖制造等,是電子產業 “工業血液”。
關鍵技術要求
純度控制:雜質含量需控制在 ppb(10??)甚至 ppt(10?¹²)級別,避免污染芯片或器件。
穩定性:成分均勻、批次一致性強,確保生產工藝可重復。
安全性:部分特種氣體具有毒性、腐蝕性或易燃易爆性,需特殊儲存和輸送系統。
