西安氣體公司 | 電子氣體的詳細介紹
2025-11-01 來自: 西安暢達氣體有限公司 瀏覽次數:42
電子氣體是半導體、顯示面板、光伏等電子制造業的核心基礎材料，按用途可分為電子特種氣體和電子大宗氣體兩類。
核心分類與關鍵特性
電子大宗氣體：用量大、純度要求中等（通常 99.99%-99.9999%），以惰性氣體和基礎氣體為主。
常見類型：氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、氦氣等。
核心作用：作為載氣、保護氣或反應介質，支撐生產過程的基礎環境。
電子特種氣體：用量小、純度要求極高（多為 99.9999% 以上，即 6N 級及更高），化學性質多樣。
常見類型：硅烷、氨氣、氯化氫、氟化氫等。
核心作用：參與薄膜沉積、蝕刻、摻雜等關鍵工藝，直接影響產品性能。
核心應用場景
半導體制造：從晶圓制造到封裝測試，用于光刻、氣相沉積、離子注入等核心步驟。
顯示面板：LCD、OLED 面板生產中，用于薄膜制備、像素定義、封裝保護。
光伏產業：太陽能電池片制造時，作為摻雜氣體或保護氣體提升轉換效率。
其他領域：LED 芯片、半導體器件、光纖制造等，是電子產業 “工業血液”。
關鍵技術要求
純度控制：雜質含量需控制在 ppb（10??）甚至 ppt（10?¹²）級別，避免污染芯片或器件。
穩定性：成分均勻、批次一致性強，確保生產工藝可重復。
安全性：部分特種氣體具有毒性、腐蝕性或易燃易爆性，需特殊儲存和輸送系統。
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